產(chǎn)品特色

　　廣角輪廓相機，進行輪廓識別，自動校正硅片角度

　　高精度CCD相機進行全自動水平修正及位置修正

　　壓力可控，實時顯示壓力數(shù)值

　　自動覆膜、噴液、放片

　　帶連片檢測功能，無連片

　　可兼容 4 英寸、5英寸的晶圓片

　　全自動上下料功能，無人值守式全自動運行(料盒方式，整盒上下料 )，產(chǎn)品批量化生產(chǎn)

　　技術(shù)參數(shù)

　　廣角輪廓相機，進行輪廓識別，自動校正硅片角度

　　高精度 CCD 相機，進行全自動水平修正及位置修正

　　壓力可控，實時顯示壓力數(shù)值

　　自動覆膜、噴液、放片

　　帶連片檢測功能，無連片

　　可兼容 4 英寸、5 英寸的晶圓片

　　全自動上下料功能，無人值守式全自動運行(料盒方式整盒上下料 )，產(chǎn)品批量化生產(chǎn)

　　應(yīng)用范圍

　　適用于半導體產(chǎn)業(yè)中的 GPP 晶圓裂片