紫外臭氧清洗機是不需要任何溶劑的干式清洗技術，對清洗表面沒有損傷。提供一種簡單，經濟，快速獲得超潔凈的表面，去除大多數無機基材(比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等)上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統清洗后，再用紫外臭氧清洗過程幾分鐘就可以啦?？捎糜谌コ?、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等大多數無機基材上的有機污染物，提供了一種精密的清洗方式，也是表面改性的一種非常重要的技術。

在柔性電子中，屬于材料處理的一環(huán)，能無損傷式清洗各類基底上的有機污染物，提升表面性能，使基底在樣品制備過程中，能有更好的性能，如更好的線寬、線距等。

性能參數

機器材料          304不銹鋼

平臺尺寸          160*160mm

電源輸入          220VAC，單相，550W

燈管                120W，壽命8000小時

主要工作光譜    185nm+254nm

有效清洗面積    ≤150*150mm方片或圓片

清洗時間           0-999分鐘可設定

安全防護功能    當蓋子打開時，燈管自動熄滅

排風功能           自帶80mm臭氧排風功能，風速可調

溫度范圍           室溫~150℃可調

加熱功率          250W

人機界面          4.3寸工業(yè)全彩觸屏人機界面

外形尺寸        235mm(W)*350mm(D)*340mm(H)