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產(chǎn)品特點(diǎn)
適合實(shí)驗(yàn)室用,操作方便;
不銹鋼真空腔體,腔蓋留有可視窗,方便觀(guān)察成膜過(guò)程;
密封圈采用氟膠密封,提高腔室的密閉性;
設(shè)備占地面積小,可放于桌面或手套箱(KF40接口);
技術(shù)參數(shù)
腔體材質(zhì) 不銹鋼材質(zhì)
上蓋材質(zhì) 鋁合金陽(yáng)極氧化
基材尺寸 <110*110mm
內(nèi)腔高度 20mm
抽真空時(shí)間(參考飛越DRV30數(shù)據(jù)) 10秒到10Pa(真空泵參數(shù)確定)
工作電源 220VAC
真空計(jì)范圍 0.05Pa~大氣壓
外形尺寸 310mm(W)*230mm(D)*360mm(H)
真空泵要求
真空泵形式 雙級(jí)旋片油泵/干泵
真空泵電源 適配現(xiàn)場(chǎng)電源功率單相/三相
真空泵抽氣速率 50Hz下≥30立方米/小時(shí)
真空泵極限真空 ≤0.5pa
產(chǎn)品特點(diǎn)
適合實(shí)驗(yàn)室用,操作方便;
不銹鋼真空腔體,腔蓋留有可視窗,方便觀(guān)察成膜過(guò)程;
密封圈采用氟膠密封,提高腔室的密閉性;
設(shè)備占地面積小,可放于桌面或手套箱(KF40接口);
技術(shù)參數(shù)
腔體材質(zhì) 不銹鋼材質(zhì)
上蓋材質(zhì) 鋁合金陽(yáng)極氧化
基材尺寸 <110*110mm
內(nèi)腔高度 20mm
抽真空時(shí)間(參考飛越DRV30數(shù)據(jù)) 10秒到10Pa(真空泵參數(shù)確定)
工作電源 220VAC
真空計(jì)范圍 0.05Pa~大氣壓
外形尺寸 310mm(W)*230mm(D)*360mm(H)
真空泵要求
真空泵形式 雙級(jí)旋片油泵/干泵
真空泵電源 適配現(xiàn)場(chǎng)電源功率單相/三相
真空泵抽氣速率 50Hz下≥30立方米/小時(shí)
真空泵極限真空 ≤0.5pa